PURIFICATION OF CHLOROSILANES BY MEANS OF DISTILLATION AND ADSORPTION

본 발명은 타겟 생성물 트리클로로실란을 가능한 가장 순수한 형태로 분리하기 위해, 디클로로실란, 트리클로로실란, 사염화규소 및 적어도 하나의 붕소, 인 또는 비소-함유 불순물을 함유하는 다성분 혼합물의 증류 분리를 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 적어도 하나의 붕소, 인 또는 비소-함유 불순물을 분리하기 위해 개량된 분리 벽 기술 및 흡착기를 갖는 증류탑이 사용된다. Separation of chlorosilane mixtures containing boron, arsenic, and/or phosphorus impurities...

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Main Authors AIGNER MAXIMILIAN, PAETZOLD UWE, PROCHASKA JAN
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 08.06.2017
Subjects
CHEMISTRY
COMPOUNDS THEREOF
INORGANIC CHEMISTRY
METALLURGY
NON-METALLIC ELEMENTS
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
SEPARATION
TRANSPORTING
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Summary:본 발명은 타겟 생성물 트리클로로실란을 가능한 가장 순수한 형태로 분리하기 위해, 디클로로실란, 트리클로로실란, 사염화규소 및 적어도 하나의 붕소, 인 또는 비소-함유 불순물을 함유하는 다성분 혼합물의 증류 분리를 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 적어도 하나의 붕소, 인 또는 비소-함유 불순물을 분리하기 위해 개량된 분리 벽 기술 및 흡착기를 갖는 증류탑이 사용된다. Separation of chlorosilane mixtures containing boron, arsenic, and/or phosphorus impurities is facilitated by a distillative separation using at least one divided column, with recycle streams to a first column being passed through an external absorbent for the impurities.
Bibliography:Application Number: KR20177012398