FLUIDIZED-BED REACTOR AND METHOD FOR PRODUCING POLYCRYSTALLINE SILICON GRANULES

• Main Authors: WECKESSER DIRK, FORSTPOINTNER GERHARD
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 23.05.2017
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; CHEMISTRY; COMPOUNDS THEREOF; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY; NON-METALLIC ELEMENTS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING

본 발명은 다결정질 실리콘 과립을 제조하기 위한 유동층 반응기에 관한 것으로, 이 반응기는 반응기 헤드(10), 반응기 튜브(3) 및 반응기 베이스(9)를 포함하고, 추가적으로 가열 장치, 유동화 기체(2)를 공급하기 위한 하나 이상의 베이스 기체 노즐(base gas nozzle), 및 반응 기체(1)를 공급하기 위한 하나 이상의 제2 기체 노즐(secondary gas nozzles), 실리콘 씨드 입자들을 공급하기 위한 씨드 공급 장치(4), 다결정질 실리콘 입자들의 생성물 유출 라인(5), 및 오프-가스(6)를 제거하기 위한 장치를 더 포함하며, 상기 베이스 기체 노즐, 하나 이상의 제2 기체 노즐 및 다결정질 실리콘 입자들의 생성물 유출 라인(5)이 반응기 베이스(9)에 대하여 씰/패킹(8)에 의해 밀봉되고, 반응기 튜브(3)는 반응기 헤드(10) 및 반응기 베이스(9)에 대하여 씰(7)에 의해 밀봉되며, 상기 씰/패킹(7,8)은 그래파이트로 구성되고, 500 ppmw 미만의 인(phosphorus)을 함유한다. Contamination of fluidized bed-produced polycrystalline granules by phosphorus is reduced by employing as seals and/or packings, graphite containing <500 ppmw of phosphorus.