MEMS MULTIPLE COIL SPRING MEMS RESONATOR FOR OSCILLATORS AND REAL-TIME CLOCK APPLICATIONS

• Main Authors: CLARK JOHN RYAN, HSU WAN THAI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 22.05.2017
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; RESONATORS; TESTING; TRANSPORTING

다수의 코일 스프링 MEMS 공진기는 센터 앵커 및 센터 앵커로부터 외부 폐쇄 링(104)으로 나선형 패턴으로 연장되는 2 개 이상의 코일 스프링들(102a, 102b)을 포함하는 공진기 바디(106)를 포함한다. 코일 스프링들의 각 쌍은 센터 앵커의 반대 지점들에서 시작하여 나선형 패턴으로 외부 링의 반대 지점들까지 연장된다. 코일 스프링들의 수, 코일 스프링들의 길이 및 폭, 및 외부 링의 중량은 원하는 공진 주파수를 실현하도록 선택된다. 외부 링(104)은 수직의 변환기들(108)을 포함하고 외부 링(104)의 중량을 조정하기 위해 홀들(130)을 포함할 수 있다. 구동 전극들(110) 및 감지 전극들(112)의 세트는 기판에 부착된다. A multiple coil spring MEMS resonator includes a center anchor and a resonator body including two or more coil springs extending in a spiral pattern from the center anchor to an outer closed ring. Each pair of coil springs originates from opposing points on the center anchor and extends in the spiral pattern to opposing points on the outer ring. The number of coil springs, the length and the width of the coil springs and the weight of the outer ring are selected to realize a desired resonant frequency.