INTERFEROMETRIC ENCODERS USING SPECTRAL ANALYSIS

• Main Authors: DECK LESLIE L, LIESENER JAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.03.2017
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

인코더 스케일의 강체 운동의 자유도에 대한 정보를 결정하는 것은: 제 1 빔을 인코더 스케일을 향해 디렉팅하는 단계로서, 상기 제 1 빔은 인코더 스케일로부터 회절되는, 단계; 간섭하는 출력 빔을 형성하도록 상기 제 1 빔의 회절된 성분을 제 2 빔과 결합하는 단계; 상기 제 1 빔과 제 2 빔의 파장의 함수로서 상기 출력 빔의 변화를 모니터링하는 단계; 및 파장의 함수로서의 상기 출력 빔의 변화에 기초하여 상기 인코더 스케일의 강체 운동의 자유도에 대한 정보를 결정하는 단계를 포함한다.