PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER AND PROCESS

• Main Authors: GOUSEV EVGENI PETROVICH, SHENOY RAVINDRA VAMAN, GANTI SURYAPRAKASH, KUO NAI KUEI, BURNS DAVID WILLIAM, LASITER JON BRADLEY, PANCHAWAGH HRISHIKESH, GRIFFITHS JONATHAN CHARLES
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.03.2017
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; ELECTRICITY; FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL; GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL; HANDLING RECORD CARRIERS; METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PRESENTATION OF DATA; RECOGNITION OF DATA; RECORD CARRIERS; TRANSPORTING

압전 마이크로기계식 초음파 트랜스듀서 (PMUT) 는 기판 상에 배치된 다중층 스택을 포함한다. 다중층 스택은 기판 위에 배치된 앵커 구조, 앵커 구조 위에 배치된 압전층 스택, 및 압전층 스택에 근접하게 배치된 기계적 층을 포함할 수도 있다. 압전층 스택은 공동 위에 배치될 수도 있다. 기계적 층은 공동을 실링할 수도 있고, 압전층 스택과 함께, 앵커 구조에 의해 지지되어 공동 위에 멤브레인을 형성하며, 멤브레인은 PMUT 가 초음파 신호들을 수신하거나 송신할 때 구부러짐 모션 및 진동 중 하나 또는 양자를 경험하도록 구성된다. A piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer (PMUT) includes a multilayer stack disposed on a substrate. The multilayer stack may include an anchor structure disposed over the substrate, a piezoelectric layer stack disposed over the anchor structure, and a mechanical layer disposed proximate to the piezoelectric layer stack. The piezoelectric layer stack may be disposed over a cavity. The mechanical layer may seal the cavity and, together with the piezoelectric layer stack, is supported by the anchor structure and forms a membrane over the cavity, the membrane being configured to undergo one or both of flexural motion and vibration when the PMUT receives or transmits ultrasonic signals.