TEMPERATURE CONTROL APPARATUS INCLUDING GROOVE-ROUTED OPTICAL FIBER HEATING SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL SYSTEMS ELECTRONIC DEVICE PROCESSING SYSTEMS AND PROCESSING METHODS

• Main Authors: DZILNO DMITRY A, BUSCHE MATTHEW, BOYD WENDELL JR, PARKHE VIJAY D, RICE MICHAEL R, VOLFOVSKI LEON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 14.03.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

홈 라우팅 광섬유들을 포함하는 기판 온도 제어 장치가 제공된다. 기판 온도 제어 장치는 하나 또는 둘 다에 홈들을 포함하는 상부 부재 및 하부 부재, 그리고 홈들에서 라우팅되는 복수의 광섬유들을 포함한다. 일 실시예에서, 광섬유들은 광 기반 픽셀화 가열을 제공하도록 적응된다. 다른 실시예에서는, 내장된 광학 온도 센서들이 온도 측정을 제공하도록 적응된다. 홈 라우팅 광섬유 온도 제어 및 측정을 포함하는 기판 온도 제어 시스템들, 전자 디바이스 처리 시스템들 및 방법들이 다수의 다른 양상들로서 설명된다. Substrate temperature control apparatus including groove-routed optical fibers. Substrate temperature control apparatus includes upper and lower members including grooves in one or both, and a plurality of optical fibers routed in the grooves. In one embodiment, the optical fibers are adapted to provide light-based pixelated heating. In another embodiment, embedded optical temperature sensors are adapted to provide temperature measurement. Substrate temperature control systems, electronic device processing systems, and methods including groove-routed optical fiber temperature control and measurement are described, as are numerous other aspects.