Spin head and apparatus for treating a substrate

• Main Author: NOH, HWAN IK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.02.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a spin head and a substrate treating apparatus. According to the present invention, the spin head comprises: a body; a base positioned inside the body; a motor rotating the base; a cam installed on the base and able to rotate; a chuck rod moving straightly in accordance with rotation of the cam; a rod guide installed on the base and guiding a straight movement of the chuck rod; a chuck pin installed on the chuck rod and supporting a side portion of a substrate; and a spin head electronically each connected the chuck pin, the chuck rod, the rod guide, the base, and the motor, wherein the chuck pin, the chuck rod, the rod guide, the base, and the motor each have conductive materials. Thus, the present invention may provide a treatment liquid to a substrate and drain out electric charge generated on the substrate during a substrate treating process. 본 발명은 스핀 헤드 및 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 스핀 헤드는 몸체와 상기 몸체의 내부에 위치하는 베이스와 상기 베이스를 회전시키는 모터와 기 베이스 상에 설치되며, 회전 가능함 캠과 상기 캠의 회전에 따라 직선 이동하는 척로드와 상기 베이스 상에 설치되며, 상기 척로드의 직선 운동을 가이드하는 로드 가이드와 그리고 상기 척로드 상에 설치되며, 기판의 측부를 지지하는 척핀을 포함하며 상기 척핀, 상기 척로드, 상기 로드 가이드, 상기 베이스 그리고 상기 모터는 각각 도전성 재질을 포함하며, 서로 전기적으로 연결되는 스핀 헤드를 포함한다.