LOAD LOCK APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

• Main Author: WAKABAYASHI SHINJI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 02.02.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

The present invention relates to a load lock apparatus which enables a substrate to enter and exit from a substrate container from which a cover is removed, by detaching the cover from the substrate container in a load lock chamber even with a simple configuration. A load lock apparatus (2) includes a load lock chamber which is connected to a vacuum transfer chamber through a communication port (211) and can switch internal pressure to an atmospheric pressure state and a vacuum pressure state. A load lock chamber body (21) includes an entrance/exit port (212) which allows a substrate container (6) provided with a detachable cover (62) on the side thereof to enter and exit, and an opening/closing door (22) which performs opening and closing thereof, and a cover attachment/detachment mechanism (4) is installed at the height position of being arranged in an up/down direction with respect to the communication port (211), and performs attachment and detachment of the cover with respect to the substrate container. A lifting mechanism (3) includes a loading stand (31) on which the substrate container (6) is loaded, and lifts the loading stand (31) to move the side of the substrate container (6) close to the cover (62) to a height position opposed to the communication port (211) and a height position opposed to the cover attachment/detachment mechanism (4). 본 발명은 간소한 구성으로 로드 로크실 내의 기판 용기로부터의 덮개의 착탈, 덮개가 제거된 기판 용기로부터의 기판의 출입을 행하는 것이 가능한 로드 로크 장치 등을 제공한다. 로드 로크 장치(2)는, 진공 반송실에 대하여 연통구(211)를 통해서 접속되고, 내부의 압력을 대기압 상태와 진공압 상태로 전환 가능한 로드 로크실을 구비하고, 로드 로크실 본체(21)는, 착탈 가능한 덮개(62)가 측면에 설치된 기판 용기(6)의 반출입이 행하여지는 반입출구(212)와, 그 개폐를 행하는 개폐 도어(22)를 구비하고, 덮개 착탈 기구(4)는, 상기 연통구(211)와 상하 방향으로 배열하는 높이 위치에 설치되고, 상기 기판 용기에 대한 덮개의 착탈을 실행한다. 승강 기구(3)는, 기판 용기(6)가 적재되는 적재대(31)를 구비하고, 기판 용기(6)의 덮개(62)측의 측면을, 연통구(211)에 대향하는 높이 위치와, 덮개 착탈 기구(4)에 대향하는 높이 위치로 이동시키도록 적재대(31)를 승강시킨다.