SEMICONDUCTOR DEVICE

본딩 패드(301)의 주위에 공극(601)을 통하여 배선층(303)이 배치되며, 패시베이션막(401)은 본딩 패드(301)를 형성하는 배선층(303)의 막두께보다 얇고, 공극(601)의 폭은 패시베이션 막두께의 2배 이하로 한, 패시베이션막이 배선층보다 얇고, 본딩 시의 스트레스에 대한 내성이 높은 반도체 장치를 제공한다. A semiconductor device has a bonding pad and a wiring layer formed on an insulating film. The wiring layer is spaced f...

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Main Author SHIMAZAKI KOICHI
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 09.01.2017
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:본딩 패드(301)의 주위에 공극(601)을 통하여 배선층(303)이 배치되며, 패시베이션막(401)은 본딩 패드(301)를 형성하는 배선층(303)의 막두께보다 얇고, 공극(601)의 폭은 패시베이션 막두께의 2배 이하로 한, 패시베이션막이 배선층보다 얇고, 본딩 시의 스트레스에 대한 내성이 높은 반도체 장치를 제공한다. A semiconductor device has a bonding pad and a wiring layer formed on an insulating film. The wiring layer is spaced from the bonding pad by a gap. A passivation film covers the bonding pad and the wiring layer and fills the gap. The gap has a width equal to or larger than the thickness of the passivation film, and equal to or smaller than twice a side wall thickness of the passivation film covering a side wall of the wiring layer. The semiconductor device has a high resistance to stress during bonding.
Bibliography:Application Number: KR20160081644