NECKED INTERCONNECT FUSE STRUCTURE FOR INTEGRATED CIRCUITS

• Main Authors: JEONG SEONGTAE, WALLACE CHARLES H, BHATTACHARYA UDDALAK, YEOH ANDREW W, CHEN ZHANPING
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 06.01.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

네크형 라인 세그먼트를 갖는 퓨즈를 포함하는 인터커넥트 퓨즈 구조체들, 뿐만 아니라 이러한 구조체들을 제조하는 방법들. 인가되는 퓨즈 프로그래밍 전압들에 의해 구동되는 전류는 IC의 동작에 영향을 미치도록 네크형 퓨즈 세그먼트들을 개방할 수 있다. 실시예들에서, 퓨즈 구조체는 중앙 인터커넥트 라인으로부터 등거리인 한 쌍의 인접하는 인터커넥트 라인들을 포함한다. 추가 실시예들에서, 중앙 인터커넥트 라인, 및 인접하는 인터커넥트 라인들 중 적어도 하나는 동일한, 그리고 상보성인 양만큼 상이한 측방향 폭들의 라인 세그먼트들을 포함한다. 추가 실시예들에서, 중앙 인터커넥트 라인은 네크형 라인 세그먼트의 반대 엔드들에서 인터커넥트된다. 추가 실시예들에서, 네크형 라인 세그먼트는 피치-감소 스페이서 기반의 패터닝 프로세스로 제조된다. Interconnect fuse structures including a fuse with a necked line segment, as well as methods of fabricating such structures. A current driven by an applied fuse programming voltage may open necked fuse segments to affect operation of an IC. In embodiments, the fuse structure includes a pair of neighboring interconnect lines equidistant from a center interconnect line. In further embodiments, the center interconnect line, and at least one of the neighboring interconnect lines, include line segments of lateral widths that differ by a same, and complementary amount. In further embodiments, the center interconnect line is interconnected at opposite ends of a necked line segment. In further embodiments, the necked line segment is fabricated with pitch-reducing spacer-based patterning process.