MASS FLOWMETER AND SPEEDOMETER

• Main Authors: HARADA TOSHIKAZU, SAKAIDA ATUSI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 26.12.2016
• Subjects: INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL; METERING BY VOLUME; PHYSICS; TESTING

질량 유량계는 히터부(13)의 양측에 각각 제 1, 제 2 센서부(11, 12)가 형성된 유량 센서(10)를 구비한다. 유량 센서(10)는 열가소성 수지로 구성되고, 복수 적층된 절연층(100, 110, 120)과, 이들의 절연층에 대하여 형성되고, 서로 접속된 제 1, 제 2 도전체(130, 140)를 구비하고, 복수의 절연층(100, 110, 120)이 가열하면서 가압되어 일체화한 다층 기판으로 구성된다. 히터부(13)로부터 방출된 열을 갖는 유체가 유량 센서(10)의 일면을 따라서 이동했을 때에 제 1, 제 2 센서부(11, 12)는 각각의 영역에 있어서의 일면과 타면의 사이에 발생하는 온도차에 따른 크기의 기전력을 발생한다. 유량 센서(10)는 복수의 절연층이 가열하면서 가압되어 일체화되어 제조된 구조이고, 다이어프램 바로 아래의 공간과 같은 큰 공간이 존재하지 않는 구조이기 때문에 다이어프램 구조를 갖는 센서보다도 파손되기 어렵다. A mass flowmeter includes a flow sensor (10) having a first sensor part (110) and a second sensor part (12) formed on both sides of a heater part (13). The flow sensor (10) is formed of a thermoplastic resin, and is configured of a multi-layer substrate including a plurality of stacked insulating layers (100), (110), and (120), and a first conductor (130) and a second conductor and (140) formed on these insulating layers and connected to each other. The multi-layer substrate is formed by pressurizing and heating the plurality of insulating layers (100), (110), and (120) for integration. When a fluid having heat released from the heater part (13) is moved along the one face of the flow sensor (10), the first and the second sensor parts (11) and (12) generate electromotive forces in the level corresponding to temperature differences generated between the one face and the other face in the first and the second sensor parts (11) and (12). The flow sensor (10) has a structure manufactured by pressurizing and heating the plurality of insulating layers for integration. The structure has no large space unlike a structure having a space immediately below a diaphragm. Thus, the flow sensor (10) is less breakable than a sensor having a diaphragm structure is.