ECR METHOD AND DEVICE FOR GENERATING A PLASMA EXCITED BY MICROWAVE ENERGY IN THE ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE ECR DOMAIN IN ORDER TO CARRY OUT A SURFACE TREATMENT OR PRODUCE A COATING AROUND A FILIFORM ELEMENT

사상(filiform) 요소(F) 주위에 표면 처리 또는 코팅을 수행하기 위해, 전자 사이클론 공명(electron cyclotron resonance, ECR) 영역의 마이크로파 에너지에 의해 여기되는 플라즈마를 발생시키기 위한 공정 및 장치가 개시된다. 공정에 따르면: - 사상 요소는, 서로 마주하도록 배치되고, 처리 챔버를 구성하는 튜브 주위에 배치되는 자기 쌍극자를 통해 연속적으로 선형으로 이동되고; - 마이크로파 에너지가 적어도 두 개의 자기 쌍극자 사이에 도입된다. According to the process, the f...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors DUDAY DAVID, LAGARDE THIERRY LEON, CHOQUET PATRICK, BLANDENET OLIVIER
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 23.12.2016
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
Online AccessGet full text

Cover

More Information
Summary:사상(filiform) 요소(F) 주위에 표면 처리 또는 코팅을 수행하기 위해, 전자 사이클론 공명(electron cyclotron resonance, ECR) 영역의 마이크로파 에너지에 의해 여기되는 플라즈마를 발생시키기 위한 공정 및 장치가 개시된다. 공정에 따르면: - 사상 요소는, 서로 마주하도록 배치되고, 처리 챔버를 구성하는 튜브 주위에 배치되는 자기 쌍극자를 통해 연속적으로 선형으로 이동되고; - 마이크로파 에너지가 적어도 두 개의 자기 쌍극자 사이에 도입된다. According to the process, the filiform component is continuously linearly moved through magnetic dipoles arranged opposite each other and around a tube constituting a treatment chamber, and the microwave energy is introduced between at least two magnetic dipoles.
Bibliography:Application Number: KR20167030791