Source head for semiconductor equipment

• Main Authors: CHOI, HWAN HYUK, JANG, JIN HYEUNG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 23.11.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a source head used in an ion injection process in semiconductor manufacturing equipment for manufacturing a semiconductor element. The present invention provides a source head for semiconductor manufacturing equipment which greatly reduces components of a source head, promotes simplification of an overall structure, uses an empty space in a source head body to accommodate most of the components, realizes a source head assembly which improves a mounting structure of the components to decrease a number of parts, simplify a structure, and strengthen durability and safety, and minimizes contamination of part components. Also, the present invention provides a cathode setting device which realizes a new cathode setting method which uses a matching relationship between a stepped surface on a cathode clamp side and a protrusion on a cathode side to accurately align a gap between a cathode and a filament when setting (assembling) the cathode used in an ion injection process to improve workability such as elimination of a separate jig, continuously maintain an accurate gap between the cathode and the filament, and secure an accurate straight movement for an arc chamber by applying a fitting type. 본 발명은 반도체 소자의 제조를 위한 반도체 제조장비에서 이온주입공정에 사용되는 소스 헤드에 관한 것이다. 본 발명은 소스 헤드의 구성부품을 대폭 줄이는 동시에 전체적인 구조의 단순화를 도모하면서 구성부품의 대부분을 소스 헤드 본체의 내부 빈 공간을 활용하여 수용시키는 한편, 구성부품들의 장착구조 등을 새롭게 개선한 소스 헤드 어셈블리를 구현함으로써, 부품수 축소, 구조 단순화, 내구성 및 안전성 강화를 도모할 수 있으며, 파트 구성부품들의 오염을 최소화할 수 있는 반도체 제조장비의 소스 헤드를 제공한다. 또한, 본 발명은 이온주입공정에 사용되는 캐소드의 세팅(조립) 시 캐소드 클램프측 단차면과 캐소드측 돌기 간의 매칭관계를 이용하여 캐소드와 필라멘트 간의 갭을 정확하게 맞출 수 있는 새로운 형태의 캐소드 세팅방식을 구현함으로써, 별도의 지그가 필요없는 등 작업성을 개선할 수 있고, 캐소드와 필라멘트 간의 정확한 갭을 지속적으로 유지할 수 있으며, 끼워맞춤 타입의 적용으로 아크 챔버에 대한 정확한 직진성을 확보할 수 있는 캐소드 세팅장치를 제공한다.