SUPPORT APPARATUS LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

리소그래피 장치에 대한 지지 장치(60)는 대상물 홀더 및 대상물 홀더의 반경방향 바깥쪽에 있는 추출 몸체(65)를 포함한다. 대상물 홀더는 대상물(W)을 지지하도록 구성된다. 추출 몸체는 지지 장치의 최상면으로부터 유체를 추출하도록 구성된 추출 개구부(66)를 포함한다. 추출 몸체는 추출 몸체가 실질적으로 대상물 홀더로부터 디커플링되도록 대상물 홀더로부터 이격된다. 추출 몸체는 대상물 홀더를 둘러싸도록 구성된 돌출부(30)를 포함하여, 사용 시 액체 층(32)이 돌출부 상에 유지되고 대상물 홀더 상에 지지된 대상물과 접촉하도록 한...

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Main Authors WESTERLAKEN JAN STEVEN CHRISTIAAN, OVERKAMP JIM VINCENT, VAN BEIJNUM MAARTEN, KOEVOETS ADRIANUS HENDRIK, JACOBS JOHANNES HENRICUS WILHELMUS, FIEN MENNO, HOOGENDAM CHRISTIAAN ALEXANDER, DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, LAFARRE RAYMOND WILHELMUS LOUIS, HOUBEN MARTIJN, TEN KATE NICOLAAS, DE GROOT ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 31.10.2016
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:리소그래피 장치에 대한 지지 장치(60)는 대상물 홀더 및 대상물 홀더의 반경방향 바깥쪽에 있는 추출 몸체(65)를 포함한다. 대상물 홀더는 대상물(W)을 지지하도록 구성된다. 추출 몸체는 지지 장치의 최상면으로부터 유체를 추출하도록 구성된 추출 개구부(66)를 포함한다. 추출 몸체는 추출 몸체가 실질적으로 대상물 홀더로부터 디커플링되도록 대상물 홀더로부터 이격된다. 추출 몸체는 대상물 홀더를 둘러싸도록 구성된 돌출부(30)를 포함하여, 사용 시 액체 층(32)이 돌출부 상에 유지되고 대상물 홀더 상에 지지된 대상물과 접촉하도록 한다. A support apparatus for a lithographic apparatus has an object holder and an extraction body radially outward of the object holder. The object holder is configured to support an object. The extraction body includes an extraction opening configured to extract fluid from a top surface of the support apparatus. The extraction body is spaced from the object holder such that the extraction body is substantially decoupled from the object holder. The extraction body comprises a projection configured such that it surrounds the object holder and such that, in use, a layer of liquid is retained on the projection and in contact with an object supported on the object holder.
Bibliography:Application Number: KR20167029498