METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING PORT BLOCKAGE FOR TDLAS MEASUREMENTS IN HARSH ENVIRONMENTS

• Main Authors: SAPPEY ANDREW D, ESTES MICHAEL JOHN, MASTERSON BERNARD P
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.08.2016
• Subjects: BLASTING; CASINGS, LININGS, WALLS OR DOORS SPECIALLY ADAPTED FORCOMBUSTION CHAMBERS, e.g. FIREBRIDGES; COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES; DETAILS OF COMBUSTION CHAMBERS, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR; DEVICES FOR DEFLECTING AIR, FLAMES OR COMBUSTION PRODUCTS INCOMBUSTION CHAMBERS; HEATING; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; LIGHTING; MEASURING; MECHANICAL ENGINEERING; PHYSICS; REGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION; SAFETY ARRANGEMENTS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTIONAPPARATUS; TESTING; WEAPONS

프로세스 챔버의 벽에 장착된 사이트 튜브(sight tube)의 장애를 모니터링 하기 위한 방법에 관한 것으로, 상기 사이트 튜브는 상기 사이트 튜브와 상기 TDLAS광학 헤드 사이의 윈도우와 함께 TDLAS 광학 헤드에 연동 동작한다. 상기 방법은 상기 TDLAS광학 헤드에 광센서를 제공하는 단계, 상기 광센서는 상기 프로세스 챔버안의 광 출력 프로세스에 의하여 출력되는 광을 수신하도록 배치된다. 상기 프로세스 챔버안의 광 출력 프로세스에 의하여 출력되며 상기 광센서에 의하여 수신되는 광으로부터 생성되는 출력 신호를 모니터링 한다. 상기 출력 신호의 감소 여부를 결정한다. A tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS) optical head includes a housing configured for attachment to a sight tube attached to a wall of a process chamber. The TDLAS optical head further includes optics within the housing for transmitting, receiving, or transmitting and receiving a laser beam within a process chamber through the sight tube. The TDLAS optical head further includes a photo sensor in the housing positioned to receive light emitted by combustion within the process chamber to which the housing is attached.