FURNACE COMPRISING A SEALED TEMPERATURE-CONTROLLED SECTION

• Main Authors: KEIM UWE, SPITZENBERGER ALFRED, JONES BERNARD, EBNER ROBERT
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.06.2016
• Subjects: BLASTING; DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS,IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KINDOF FURNACE; FURNACES; FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; HEATING; KILNS; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS; OVENS; RETORTS; WEAPONS

본 발명은 적어도 하나의 기판(102)의 온도를 제어하기 위한 노, 특히 연속로(continuous furnace)에 관한 것이다. 노의 하우징(100)은 주입구(103) 및 배출구(104)를 포함하며, 주입구(103)와 배출구(104) 사이에는 온도-조절형 부분(105)이 형성된다. 적어도 하나의 기판(102)을 운반하기 위한 적어도 하나의 운반체(120)를 포함하는 운반체 장치는 제1 단부와 제2 단부를 포함하며, 상기 운반체 장치는 제1 단부가 상기 주입구(103) 내에 위치하고 제2 단부가 상기 배출구(104) 내에 위치하도록 하우징(100) 내에 형성되고 배열 가능하다. The present invention relates to a furnace, in particular, a continuous furnace, for controlling the temperature of at least one substrate. A housing comprises an intake opening and an outtake opening, wherein a temperature controlled section is formed between the intake opening and the outtake opening. A carrier element arrangement comprising at least one carrier element for carrying the at least one substrate comprises a first end and a second end, wherein the carrier element arrangement is formed and arrangable within the housing such that the first end is located within the intake opening and the second end is located within the outtake opening.