COMPUTER-IMPLEMENTED METHODS, COMPUTER-READABLE MEDIA, AND SYSTEMS FOR CLASSIFYING DEFECTS DETECTED IN A MEMORY DEVICE AREA ON A WAFER

웨이퍼 상의 메모리 디바이스 영역에서 검출된 결함들을 분류하기 하기 위한 컴퓨터-구현 방법들, 컴퓨터-판독 가능 매체, 및 시스템들이 제공된다.

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Main Authors CHANG ELLIS, PAE, YEON HO, CHOI, SUN YONG
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 01.06.2016
Subjects
INFORMATION STORAGE
PHYSICS
STATIC STORES
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Summary:웨이퍼 상의 메모리 디바이스 영역에서 검출된 결함들을 분류하기 하기 위한 컴퓨터-구현 방법들, 컴퓨터-판독 가능 매체, 및 시스템들이 제공된다.
Bibliography:Application Number: KR20167012945