METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE

본 발명은, 금속 실리콘(metallurgical silicon, mg-Si)과 HCl의 반응에 의해 삼염화실란(TCS)을 제조하는 방법으로서, 0.06 wt% 초과의 티타늄 함량을 갖는 mg-Si를 사용하는 것을 포함하는 방법을 제공한다.

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Bibliographic Details
Main Authors SOBOTA MAREK, ALBER ANNE
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 04.04.2016
Subjects
CHEMISTRY
COMPOUNDS THEREOF
INORGANIC CHEMISTRY
METALLURGY
NON-METALLIC ELEMENTS
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Summary:본 발명은, 금속 실리콘(metallurgical silicon, mg-Si)과 HCl의 반응에 의해 삼염화실란(TCS)을 제조하는 방법으로서, 0.06 wt% 초과의 티타늄 함량을 갖는 mg-Si를 사용하는 것을 포함하는 방법을 제공한다.
Bibliography:Application Number: KR20167005501