VACUUM EQUIPMENT FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE

• Main Authors: MOON, BOO IL, RYU, JAE IL, KO, JAE EUL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 10.03.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Disclosed is a vacuum apparatus for manufacturing a display device comprising: a vacuum chamber including loading/unloading outlets for loading/unloading a substrate, an operation unit capable of transferring the substrate, a control unit controlling the operation unit, and a vacuum pump configured to comprise intake/exhaust units to ensure a vacuum status; guiding units arranged to correspond to the operation unit and the control unit; and pipe units correspondingly coupled to the guiding units. The purpose of the present invention is to provide the vacuum apparatus for manufacturing a display device with an improved yield rate by discharging foreign substances generated by the operation unit and the control unit thereof. 본 발명은 디스플레이 제조용 진공 장비를 개시한다. 개시된 본 발명의 디스플레이 제조용 진공 장비는, 본 발명의 디스플레이 제조용 진공 장비는, 기판이 반입/반출될 수 있는 반입구와 반출구와, 기판을 반송할 수 있는 구동부와, 상기 구동부를 제어하는 제어부와, 진공을 구현하기 위해 흡기부와 배기부를 구비한 진공 펌프를 포함하는 진공 챔버에 있어서, 상기 구동부 및 제어부 각각에 대응되도록 배치된 가이드부들; 및 상기 가이드부들 각각에 대응되도록 연결된 배관부들을 포함한다. 본 발명의 디스플레이용 진공 장비는, 진공 장비내 진공 상태를 만들기 위해 사용되는 진공 펌프를 이용하여 장비내 구동부 및 제어부에서 발생되는 이물질들을 장비 외부로 배출시켜 생산 수율을 향상시킨 효과가 있다.