ILLUMINATION APPARATUS, OPTICAL INSPECTION APPARATUS, AND OPTICAL MICROSCOPE

• Main Authors: KIMURA NOBUYUKI, TOGASHI MITSUHIRO, NUMATA MITSUNORI, TAKADA MASAKI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.02.2016
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Provided is a lighting apparatus which enables to change a ray angle distribution of an illumination light while suppressing a loss of light quantity. The lighting apparatus comprises: a light source to emit light; multiple reflection element (4) which receives light (Lc) from a light incident surface (4a) reflecting multiply the light therein, and then emitting the light from a light emitting surface; and an optical element (3) arranged on a middle of an optical path between the light source and the multiple reflection element (4), changing the ray angle distribution of light (Lb) wherein the optical element (3) includes at least two conical lenses (21, 22) which are paired together, and an optical path of a light beam changed on an outer circumferential side and an inner circumferential side of a pupil surface of the light (Lb) while the light (Lb) passes between the two conical lenses (21, 22). 광량의 손실을 억제하면서, 조명광의 광선 각도 분포를 변화시킬 수 있는 조명 장치를 제공한다. 광을 출사하는 광원; 광(Lc)을 광 입사면(4a)으로부터 입사하고, 내부에서 다중 반사시킨 후, 광출사면으로부터 출사하는 다중 반사 소자(4); 및 광원과 다중 반사 소자(4) 사이의 광로 중에 배치되고, 광(Lb)의 광선 각도 분포를 변화시키는 광학 소자(3);를 구비하고, 광학 소자(3)는 적어도 쌍이 되는 2개의 원추 렌즈(21, 22)를 포함하고, 2개의 원추 렌즈(21, 22) 사이를 광(Lb)이 통과하는 동안에, 광(Lb)의 퓨필면의 내주측과 외주측에서 광선의 광로가 바뀐다.