MASS FLOW CONTROLLER

• Main Authors: TAKAHASHI AKITO, YONEDA YUTAKA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 17.02.2016
• Subjects: CONTROLLING; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL; METERING BY VOLUME; PHYSICS; REGULATING; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES; SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS; TESTING

유량 설정값의 변화에 대한 추종 속도를 희생하는 일 없이, 압력 변동이 생겨도 유량 변동을 억제할 수 있고, 크로스토크가 생길 수 있는 시스템에도 채용할 수 있는 매스 플로우 컨트롤러를 제공한다. 그 때문에, 유량 측정값과 유량 설정값을 파라미터로서 적어도 포함한 소정의 산출식으로부터 유량 제어 밸브의 개도 제어 신호를 산출하여 출력하는 제어부(5)와, 유량 센서부(2)의 상류측 또는 하류측에 있어서 유체의 압력을 검지하고, 그 압력값을 나타내는 압력 검지 신호를 출력하는 압력 센서부(4)를 구비하고, 상기 제어부(5)가 상기 유량 설정값을 소정량 이상 변화시킨 시점으로부터의 소정 기간인 변화 기간과, 그 이외의 기간인 안정 기간에 있어서 상기 산출식을 서로 다르게 하는 동시에, 적어도 상기 안정 기간에 있어서 상기 산출식의 파라미터로서 상기 압력값이 추가로 포함되도록 하였다.