AZIMUTHAL MIXER

Provided is an azimuthal mixer component plumbed in line with a showerhead steam tube of a semiconductor processing apparatus. The azimuthal mixer can comprise a main path which is coaxial to the stem tube, and one or more plenums partially or totally surrounding the main path. Sets corresponding to...

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Main Authors PARMAR RAVI BHARATKUMAR, COHEN DAVID G, SUHAIL MOHAMED SHIHAAM, WONGSENAKHUM PANYA
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 15.02.2016
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:Provided is an azimuthal mixer component plumbed in line with a showerhead steam tube of a semiconductor processing apparatus. The azimuthal mixer can comprise a main path which is coaxial to the stem tube, and one or more plenums partially or totally surrounding the main path. Sets corresponding to radial paths can connect each plenum and the main path for a fluid. 반도체 프로세싱 장치의 샤워헤드 스템 튜브 (showerhead stem tube) 와 일렬로 (in-line) 부설될 (plumb) 수도 있는 방위각 믹서 컴포넌트가 제공된다. 방위각 믹서는 스템 튜브와 동축인 주 통로 및 주 통로를 부분적으로 또는 전체적으로 둘러싸는 하나 이상의 플레넘을 포함할 수도 있다. 방사상 통로들의 대응하는 세트들은 플레넘들 각각과 주 통로를 유체적으로 연결할 수도 있다.
Bibliography:Application Number: KR20150105096