AN EVALUATION SYSTEM AND A METHOD FOR EVALUATING A SUBSTRATE

• Main Authors: UZIEL YORAM, KORNGUT DORON, BAR OR RON, SHNEYOUR OFER, FELDMAN HAIM, NAFTALI RON, ADAN OFER
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.02.2016
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

솔리드 이머젼 렌즈 및 원자간력 현미경들(AFMs)을 포함하는 공간 센서들을 포함할 수 있는 평가 시스템이 제공될 수 있다. AFM들은, 솔리드 이머젼 렌즈와 기판 사이의 공간적 관계를 나타내는 공간적 관계 정보를 생성하도록 배열된다. 제어기는, 솔리드 이머젼 렌즈와 기판 사이에 원하는 공간적 관계를 도입하기 위해, 공간적 관계 정보를 수신하고, 수정 신호들을 적어도 하나의 위치 수정 엘리먼트에 전송하도록 배열된다. There may be provided an evaluation system that may include spatial sensors that include atomic force microscopes (AFMs) and a solid immersion lens. The AFMs are arranged to generate spatial relationship information that is indicative of a spatial relationship between the solid immersion lens and a substrate. The controller is arranged to receive the spatial relationship information and to send correction signals to the at least one location correction element for introducing a desired spatial relationship between the solid immersion lens and the substrate.