SYSTEM AND METHOD FOR THE AUTOMATIC DETERMINATION OF CRITICAL PARAMETRIC ELECTRICAL TEST PARAMETERS FOR INLINE YIELD MONITORING

• Main Authors: MAHESHWARY SONU, ROBINSON JOHN, LEGBAND DALE, BANERJEE SAIBAL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.12.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION ORPROCESSING OF GOODS; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS; TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE

인라인 수율 모니터링은 하나 이상의 알고리즘 소프트웨어 모듈을 사용하는 것을 포함할 수 있다. 인라인 수율 모니터링은 학습 모듈 및 예측 모듈과 같은 관련된 두 개의 알고리즘 소프트웨어 모듈을 사용하는 것을 포함할 수 있다. 학습 모듈은 프로브 전기 테스트 수율 및 PET 속성 값의 데이터로부터 임계적 PET(parametric electrical test) 파라미터를 학습할 수 있다. 임계적 PET 파라미터는 수율 데이터에서 아웃라이어 및 인라이어를 가장 잘 구분할 수 있다. 예측 모듈은 학습 모듈에 의해 구한 임계적 PET 파라미터를 사용하여 웨이퍼가 프로브 테스트 분류에서 인라이어 또는 아웃라이어인지 예측할 수 있다.