METHODS FOR PROVIDING SPACED LITHOGRAPHY FEATURES ON A SUBSTRATE BY SELF-ASSEMBLY OF BLOCK COPOLYMERS

• Main Authors: DUSA MIRCEA, WUISTER SANDER, DRUZHININA TAMARA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 27.10.2015
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES; MATERIALS THEREFOR; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; NANOTECHNOLOGY; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; TRANSPORTING

복수의 일정하게 이격된 리소그래피 피처들을 형성하는 방법이 개시되며, 상기 방법은 기판 상의 복수의 트렌치들에 제 1 및 제 2 블록들을 갖는 자가-조립가능한 블록 공중합체를 제공하는 단계 -각각의 트렌치는 마주하는 측벽들 및 베이스를 포함하고, 측벽들 사이에 폭을 가지며, 제 1 트렌치가 제 2 트렌치보다 더 큰 폭을 가짐- ; 자가-조립가능한 블록 공중합체가 각각의 트렌치에서 질서배열된 층으로 자가-조립하게 하는 단계 -상기 층은 제 2 블록의 제 2 도메인과 교번하는 제 1 블록의 제 1 도메인을 갖고, 제 1 및 제 2 트렌치들은 동일한 수의 각각의 도메인을 가짐- ; 및 각각의 트렌치를 따라 제 2 도메인을 갖는 리소그래피 피처들의 일정하게 이격된 열들을 형성하도록 제 1 도메인을 선택적으로 제거하는 단계를 포함하고, 제 1 트렌치에서의 피처들의 피치는 제 2 트렌치에서의 피처들의 피치보다 더 크다.