MULTIPLE DIMENSION POSITION SENSOR

• Main Authors: MAJCZAK KRZYSTOF A, HOSEK MARTIN, ZETTLER JOHN F, SYSSOEV SERGEI, HOFMEISTER CHRISTOPHER, KRUPYSHEV ALEXANDER
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.10.2015
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

컨트롤러, 상기 컨트롤러에 연결되고 이동 가능부 및 이송 경로를 갖는 워크피스 이송장치, 및 상기 컨트롤러에 연결되고 상기 이동 가능부에 부착된 적어도 하나의 장 생성 플래튼(field generating platen) 및 상기 이송 경로를 따라 배치된 적어도 하나의 센서 그룹을 포함하는 다차원 위치 측정 장치를 포함하는 장치가 제공된다. 상기 장 생성 플래튼은 위치를 측정하고 상기 이동 가능부를 추진(propelling)하도록 구성된다. 상기 적어도 하나의 센서 그룹의 각각의 센서는 상기 적어도 하나의 장 생성 플래튼에 의해 생성되는 피감지 장(sensed field)에 대응하여 단일 축을 따라서 오직 하나의 출력 신호를 제공하도록 구성된다. 상기 컨트롤러는 상기 적어도 하나의 센서 그룹의 상기 센서들 중 적어도 하나의 상기 오직 하나의 출력 신호를 기초로 상기 이동 가능부의 다차원 위치를 계산하도록 구성된다. 상기 다차원 위치는 적어도 2차원(planar) 위치 및 갭(gap) 측정을 포함한다.