SUBSTRATE HOUSING CONTAINER

• Main Authors: MATSUTORI CHIAKI, OHNUKI KAZUMASA, INOUE SHUICHI, SHIDA HIROYUKI, NAGASHIMA TSUYOSHI, YAMAGISHI HIROKI, OYAMA TAKAHARU
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 03.08.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

잠금 기구의 회전 조작체가 회전 조작될 때, 덮개체의 커버 플레이트와 회전 조작체가 접촉하여 손상되거나, 스쳐서 티끌을 발생시키는 것을 방지할 수 있는 기판 수납 용기를 제공한다.　반도체 웨이퍼를 수납하는 용기 본체(1)와, 용기 본체(1)의 정면을 개폐하는 덮개체(10)와, 용기 본체(1)의 정면을 폐쇄한 덮개체(10)를 잠그는 잠금 기구(30)를 구비하고, 덮개체(10)를, 용기 본체(1)의 정면에 끼워맞춰지는 덮개 본체(11)와, 덮개 본체(11)의 정면(12)을 덮는 투명한 커버 플레이트(19)로 구성하고, 잠금 기구(30)를, 덮개 본체(11)에 축 지지되어 커버 플레이트(19)의 외부로부터 회전 조작되는 회전 조작체(31)와, 회전 조작체(31)의 회전에 따라 슬라이드하고, 덮개 본체(11)의 둘레벽으로부터 출몰하여 용기 본체(1)의 정면 내주에 접리하는 복수의 빗장 바(36)로 구성하고, 커버 플레이트(19)와 회전 조작체(31) 중 적어도 커버 플레이트(19)에 회전 조작체(31)용의 복수의 자세 제어 부재(60)를 설치한다. The substrate storage container includes: a container body for storing a semiconductor wafer; a lid body for opening and closing a front of the container body; and a locking mechanism for locking the lid body that has closed the front of the container body. The lid body is formed of a lid main body to be fitted to the front of the container body and a cover plate for covering a front face of the lid main body. The locking mechanism includes a rotating operation portion that is pivotally supported by the lid main body and rotationally operated from an outside of the cover plate. A plurality of posture control members for the rotating operation portions are provided for, at least, the cover plate, among the cover plate and the rotating operation portion.