STRUCTURE AND METHOD FOR SINGLE GATE NON-VOLATILE MEMORY DEVICE

The present disclosure provides an integrated circuit. The integrated circuit includes a semiconductor substrate having a periphery region and a memory region; a field effect transistor disposed in the periphery region and having silicide features; and a single floating gate non-volatile memory devi...

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Main Authors TSENG HUANG WEN, TSUI YING KIT
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 31.07.2015
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Summary:The present disclosure provides an integrated circuit. The integrated circuit includes a semiconductor substrate having a periphery region and a memory region; a field effect transistor disposed in the periphery region and having silicide features; and a single floating gate non-volatile memory device disposed in the memory region, free of silicide and having a first gate electrode and a second gate electrode laterally spaced from each other. 본 개시는 집적 회로를 제공한다. 집적 회로는 주변 영역 및 메모리 영역을 갖는 반도체 기판; 상기 주변 영역에 배치되고 실리사이드 피처를 갖는 전계 효과 트랜지스터; 및 상기 메모리 영역에 배치되고 실리사이드가 없으며, 서로 좌우로 이격된 제1 게이트 전극 및 제2 게이트 전극을 갖는 단일 부동 게이트 비휘발성 메모리 장치를 포함한다.
Bibliography:Application Number: KR20150100396