NOVEL NORBORNENE DERIVATIVE

레지스트 재료를 위한 원료로서 유용한 신규한 화합물을 제공하는 것을 과제로 한다. 이하의 식으로 표시되는, 노르보르난 골격 중에 에폭시, 및 메틸렌을 개재한 반응성 기를 가지는 노르보르넨 유도체.(식중, R은 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기, 또는 하이드록시메틸아크릴로일기를 나타내고, R는 수소 원자 또는 탄소수 1∼4의 알킬기를 나타낸다.) In the formula, R1 represents a hydrogen atom, acryloyl, methacryloyl or hydroxymethylacryloyl, and R2...

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Main Authors KAWAMURA SAKAE, YAMADA HIROTSUNA
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 29.07.2015
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Summary:레지스트 재료를 위한 원료로서 유용한 신규한 화합물을 제공하는 것을 과제로 한다. 이하의 식으로 표시되는, 노르보르난 골격 중에 에폭시, 및 메틸렌을 개재한 반응성 기를 가지는 노르보르넨 유도체.(식중, R은 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기, 또는 하이드록시메틸아크릴로일기를 나타내고, R는 수소 원자 또는 탄소수 1∼4의 알킬기를 나타낸다.) In the formula, R1 represents a hydrogen atom, acryloyl, methacryloyl or hydroxymethylacryloyl, and R2 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
Bibliography:Application Number: KR20157016610