SUBSTRATE HOUSING VESSEL

• Main Authors: MATSUTORI CHIAKI, OHNUKI KAZUMASA, INOUE SHUICHI, NAGASHIMA TSUYOSHI, SHIDA HIROYUKI, YAMAGISHI HIROKI, OYAMA TAKAHARU
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 16.06.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

바람직한 탄성을 가지고 기판을 지지할 수 있는 프론트 리테이너를 갖는 기판 수납 용기이다. 기판 수납 용기는, 덮개체(3)의 부분이며 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 기판 수납 공간에 대향하는 부분에 배치되고, 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있는 덮개체측 기판 지지부(7)를 구비하며, 덮개체측 기판 지지부(7)는 덮개체측 기판 수용부(73)와, 덮개체측 기판 수용부(73)의 일단부와 타단부에 각각 접속된 한 쌍의 덮개체측 다리부(721, 722)를 구비한다. 한 쌍의 덮개체측 다리부 중 일방의 덮개체측 다리부(721)는 덮개체 다리부 고정용 요부(341)의 외부에 고정되고, 한 쌍의 덮개체측 다리부 중 타방의 덮개체측 다리부(722)는 덮개체 다리부 고정용 요부(341)의 내부에 고정되어 있다. A substrate storing container is provided with a lid-body-side substrate support section that can support the edges of a plurality of substrates when a container main body opening is occluded by the lid body. The lid-body-side substrate support section is provided with: a lid-body-side substrate receiving section and a pair of lid-body-side leg sections respectively connected to one end and the other end of the lid-body-side substrate receiving section. One lid-body-side leg section of the pair of lid-body-side leg sections is fixed at the outside of a concavity for fixing a lid-body leg section, and the other lid-body-side leg section of the pair of lid-body-side leg sections is fixed within the concavity for fixing a lid-body leg section.