VIBRATION RESISTANT YAW RATE SENSOR

• Main Author: NEUL REINHARD
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 22.05.2015
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

The present invention relates to a yaw rate sensor with a main extension plane and a plurality of seismic masses. With respect to each of the seismic mass of the plurality of seismic masses, the seismic mass may be driven to form a drive vibration, and at this time the driving vibration is performed in accordance with the driving direction disposed parallel to the main extension plane. The seismic mass can be deflected in two different deflection directions, and the two different deflection directions are arranged at right angles to the driving direction. A yaw rate sensor for generating a plurality of detection signals is formed on the basis of the plurality of detected deviations of the plurality of seismic masses, one detection signal among a plurality of detection signals is assigned to each deflection direction of the plurality of seismic masses, and in this case, the yaw rate sensor is configured such that the linear acceleration, rotational acceleration and centrifugal acceleration of the yaw rate sensor based on at least one axis of rotation of the yaw rate sensor is equalized by the compensation of the two detection signals corresponding to each of the plurality of detection signals. 본 발명은 주 연장 평면을 가진 하나의 기판 및 복수의 진동 질량(seismic mass)을 구비한 요 레이트 센서에 관한 것으로, 상기 복수의 진동 질량의 각각의 진동 질량과 관련하여, - 상기 진동 질량은 구동 진동을 형성하도록 구동될 수 있으며, 이때 구동 진동은 주 연장 평면에 대해 평행하게 배치된 구동 방향을 따라 실시되며, - 상기 진동 질량은 2개의 상이한 편향 방향을 따라 편향될 수 있고, 상기 2개의 상이한 편향 방향은 구동 방향에 대해 수직으로 배치되며, 복수의 검출 신호를 발생시키기 위한 요 레이트 센서는 복수의 진동 질량의 복수의 검출된 편향에 기초하여 구성되고, 상기 복수의 진동 질량의 각각의 편향 방향에는 복수의 검출 신호 중 하나의 검출 신호가 할당되며, 이 경우 요 레이트 센서는 상기 요 레이트 센서의 하나 이상의 회전축을 기준으로 하는 요 레이트 센서의 선형 가속도, 회전 가속도 및 원심 가속도가 상기 복수의 검출 신호 중 각각 2개의 상응하는 검출 신호의 보상에 의해 균등화되도록 구성된다.