METHOD AND APPARATUS FOR MASSIVELY PARALLEL MULTI-WAFER TEST

본원에서 개시된 것은 비용 효과적, 효율적, 대량 병렬 다중 웨이퍼 테스트 셀이다. 추가적으로, 이 테스트 셀은 단일 터치다운 및 다중 터치 다운 적용예 모두에 대해 사용될 수 있다. 본 발명은 신규의 "스플릿 카트리지(split-cartridge)" 설계를 사용하며, 이는 프로브 카드 어셈블리로부터 분리될 때 웨이퍼를 정렬하는 방법에 통합되어, 비용 효과적, 효율적인 다중 웨이퍼 테스트 셀을 생성한다. "프로브 카드 스탑(probe-card stops)" 설계는 전체 카트리지 설계 및 작동을 단...

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Bibliographic Details
Main Authors LEVENTHAL IRA H, VOLKERINK ERIK, NAMBURI LAKSHMIKANTH, GROVER SANJEEV, LOPOPOLO VINCE, DESTA YOHANNES, ANDBERG JOHN W, LOSEY MATTHEW W
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 20.05.2015
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
MEASURING
MEASURING ELECTRIC VARIABLES
MEASURING MAGNETIC VARIABLES
PHYSICS
SEMICONDUCTOR DEVICES
TESTING
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Summary:본원에서 개시된 것은 비용 효과적, 효율적, 대량 병렬 다중 웨이퍼 테스트 셀이다. 추가적으로, 이 테스트 셀은 단일 터치다운 및 다중 터치 다운 적용예 모두에 대해 사용될 수 있다. 본 발명은 신규의 "스플릿 카트리지(split-cartridge)" 설계를 사용하며, 이는 프로브 카드 어셈블리로부터 분리될 때 웨이퍼를 정렬하는 방법에 통합되어, 비용 효과적, 효율적인 다중 웨이퍼 테스트 셀을 생성한다. "프로브 카드 스탑(probe-card stops)" 설계는 전체 카트리지 설계 및 작동을 단순화시키도록 카트리지 내에서 사용될 수 있다. Disclosed herein is a cost effective, efficient, massively parallel multi-wafer test cell. Additionally, this test cell can be used for both single-touchdown and multiple-touchdown applications. The invention uses a novel "split-cartridge" design, combined with a method for aligning wafers when they are separated from the probe card assembly, to create a cost effective, efficient multi-wafer test cell. A "probe-card stops" design may be used within the cartridge to simplify the overall cartridge design and operation.
Bibliography:Application Number: KR20157006061