METHOD FOR ESTIMATING AND CORRECTING MISREGISTRATION TARGET INACCURACY

본 개시의 양상들은 비례 팩터들을 이용함으로써 메트롤로지 툴을 교정하기 위한 시스템들 및 방법을 설명한다. 비례 팩터들은 상이한 측정 조건들 하에서 기판을 측정함으로써 획득될 수 있다. 이어서, 측정된 메트롤로지 값 및 하나 이상의 품질 메리트들이 계산된다. 이 정보로부터, 비례 팩터들이 결정될 수 있다. 그 후, 비례 팩터들은 메트롤로지 측정에서 부정확도를 정량화하는데 이용될 수 있다. 비례 팩터들은 또한 최적화 측정 레시피를 결정하는데 또한 이용될 수 있다. 이 요약은 검색자 또는 다른 독자가 기술적 개시물의 주제를 빠르게 확인...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors MANASSEN AMNON, SHUALL NIMROD, AMIR NURIEL, AMIT ERAN, WIDMANN AMIR, KLEIN DANA, COHEN GUY
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 13.05.2015
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CINEMATOGRAPHY
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
MEASURING
MEASURING ANGLES
MEASURING AREAS
MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
SEMICONDUCTOR DEVICES
TESTING
Online AccessGet full text

Cover

More Information
Summary:본 개시의 양상들은 비례 팩터들을 이용함으로써 메트롤로지 툴을 교정하기 위한 시스템들 및 방법을 설명한다. 비례 팩터들은 상이한 측정 조건들 하에서 기판을 측정함으로써 획득될 수 있다. 이어서, 측정된 메트롤로지 값 및 하나 이상의 품질 메리트들이 계산된다. 이 정보로부터, 비례 팩터들이 결정될 수 있다. 그 후, 비례 팩터들은 메트롤로지 측정에서 부정확도를 정량화하는데 이용될 수 있다. 비례 팩터들은 또한 최적화 측정 레시피를 결정하는데 또한 이용될 수 있다. 이 요약은 검색자 또는 다른 독자가 기술적 개시물의 주제를 빠르게 확인하는 것을 허용하게 하는 요약을 요구하는 규칙들에 따라 제공된다는 것이 강조된다. 이것은 청구항들의 범위 또는 의미를 해석하거나 제한하는데 이용되지 않을 것이라고 이해할 수 있게 된다. Aspects of the present disclosure describe systems and methods for calibrating a metrology tool by using proportionality factors. The proportionality factors may be obtained by measuring a substrate under different measurement conditions. Then calculating the measured metrology value and one or more quality merits. From this information, proportionality factors may be determined. Thereafter the proportionality factors may be used to quantify the inaccuracy in a metrology measurement. The proportionality factors may also be used to determine an optimize measurement recipe. It is emphasized that this abstract is provided to comply with the rules requiring an abstract that will allow a searcher or other reader to quickly ascertain the subject matter of the technical disclosure. It is submitted with the understanding that it will not be used to interpret or limit the scope or meaning of the claims.
Bibliography:Application Number: KR20157007740