Forming apparatus of organic thin film and heating crucible thereof

• Main Authors: UJIHARA, TAKASHI, JUNG, SANG O
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 10.03.2004
• Edition: 7
• Subjects: ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY

PURPOSE: An organic thin film forming unit and a heating receptacle thereof are provided to control easily a deposition rate and perform stably a deposition process by maintaining constantly a heating area for organic materials. CONSTITUTION: An organic thin film forming unit includes a main body(111), a bottom heater(113), and one or more side heaters(114,124). The main body(111) includes a loading part(110), an opening part(112), and a discharging part(120). The loading part is used for storing organic materials. The opening part(112) is formed at a bottom side of the loading part. The discharging part(120) is connected to the loading part(110) through the opening part(112) in order to discharge the vaporized organic gases. A nozzle(122) is formed at the discharging part. The bottom heater(113) is installed on a bottom of the loading part in order to heat and vaporize the organic materials. The side heaters(114,124) are installed around an external side of the main body. 본 발명은 용기 내에 수납되는 유기물질의 양에 관계없이 장시간 안정적으로 유기물질을 기화시켜 기판에 유기 박막을 형성시키도록 하기 위한 것으로, 유기물이 수납되는 장전부와, 상기 장전부의 하부 측면에 형성된 개구부와, 상기 개구부를 통해 장전부와 연통되고 기화된 유기물 가스가 통과하는 토출부를 포함하되, 상기 토출부에는 기화된 유기물이 토출되도록 하방으로 개방된 노즐이 구비된 용기 본체와, 상기 장전부의 저면에 설치되어 수납된 유기물을 가열하여 기화시키는 저면 히터와, 상기 용기 본체의 외측면을 따라 설치되는 적어도 하나 이상의 측면 히터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막 형성장치의 가열용기에 관한 것이며, 이 가열용기가 진공챔버의 내부 상측에 설치되어 기화된 유기물가스가 하방으로 개방된 노즐을 통해 토출되어 상기 진공챔버의 내부 하측 장착부에 고정된 기판에 증착되도록 하는 유기박막 형성장치에 관한 것이다.