Apparatus for measuring rotation angle of micro mirror

• Main Authors: KIM, GEON NYEON, PARK, GWANG BEOM, PARK, HYO DEOK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.11.2003
• Edition: 7
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

PURPOSE: An apparatus for measuring a rotation angle of a micro reflector is provided, which rotates the micro reflector of several micro meter at an initial location accurately and simply. CONSTITUTION: A light source(360) generates a light. A collimator lens(370) converts the light of the light source into a parallel light. A beam splitter(340) splits the light passing through the collimator lens into two. A micro reflector(310) reflects one light incident by being split by the beam splitter. An actuator(320) generates rotation displacement at the micro reflector. A 3-axis driving table(300) moves the micro reflector to X-axis, Y-axis and Z-axis. An object lens(330) is comprised between the beam splitter and the micro reflector, and makes one light split in the beam splitter be incident on the micro reflector and makes the reflected light pass through the beam splitter. And an optical sensor array(350) detects the light and converts it into an electrical signal. 수십 마이크로미터 크기의 회전 미소 반사체를 시각적으로 간단히 초기 위치에 정확히 위치시킬 수 있고, 미소 반사체의 미소 단위의 회전각도를 정확하게 측정한다. X축, Y축 및 Z축으로 구동되는 3축 구동 테이블과, 상기 3축 구동 테이블 상에 설치되고 회전각도를 측정하기 위한 미소 반사체와, 미소 반사체에 일체로 구비되어 미소 반사체를 회전시키는 액츄에이터와, 상기 미소 반사체의 전방에 설치되어 입사되는 광을 전기적 신호로 변환하는 광 센서 어레이와, 광을 발생하는 광원과, 상기 광원의 광을 평행광으로 변환하는 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈를 통과한 광을 분할하여 상기 미소 반사체 및 광 센서 어레이로 출력하는 빔 스플리터와, 상기 빔 스플리터와 상기 미소 반사체의 사이에 구비되는 대물렌즈, 시각적으로 미소 반사체를 확인하기 위한 조명과 조명 스플리터로 구성됨을 특징으로 한다.