Humidity sensor using cantilever and method of manufacturing the same

• Main Authors: PARK, JUN SIK, PARK, HYO DEOK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.10.2003
• Edition: 7
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

PURPOSE: A high-precision humidity sensor and a method for manufacturing the same are provided to precisely detect humidity by measuring variation of resonance frequency or detecting displacement of a cantilever using a PZT capacitor. CONSTITUTION: A high-precision humidity sensor includes a cantilever(70) having a PZT capacitor. The cantilever(70) is lifted and supported by a silicon substrate. A humidity detecting layer(60) is provided on the cantilever(70) so as to vary displacement of the cantilever(70) and resonance frequency. The humidity detecting layer(60) absorbs humidity so that mass of the humidity detecting layer(60) is increased, thereby detecting humidity degree. The PZT capacitor includes a lower electrode, a PZT layer, and an upper electrode. The humidity detecting layer(60) includes a porous metal oxide layer. 본 발명은 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도 센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판에 지지되어 부상되며, 하부전극, PZT막과 상부전극으로 이루어진 PZT 캐패시터를 포함하고 있는 캔틸레버와; 습기의 흡수로 질량이 증가되어, 상기 캔틸레버가 휘어지는 변위를 발생시킬 수 있도록, 상기 캔틸레버의 상부에 형성된 습도 감지막으로 구성함으로써, 습도 감지막에서 흡수되는 습기량에 따라 캔틸레버의 휘어지는 변위 및 공진주파수의 감소와 같은 변화를 검출하여 습도를 초정밀하게 감지할 수 있는 효과가 발생한다.