MICROPUMP FOR TRANSPORTING FLUID AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

• Main Authors: KIM, YUN TAE, JUN, CHI HUN, CHOI, CHANG EOK, JANG, WON IK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 03.09.2003
• Edition: 7
• Subjects: BLASTING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; PUMPS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS; TRANSPORTING; WEAPONS

PURPOSE: A micro pump and a manufacturing method thereof are provided to allow for a mass production and reduction of manufacturing costs, while permitting silicon semiconductor elements to be integrated on a single chip. CONSTITUTION: A micro pump comprises a lower substrate(100); a heat generating layer formed into a predetermined pattern on the lower substrate so as to generate a heat and control the pressure of the fluid; a cavity(170) formed on the heat generating layer; membranes(140,150,160) formed on the cavity in such a manner that the membranes expand by the heat generated from the heat generating layer; a fluid transfer path(230) including the membranes and an upper substrate as a boundary; and the upper substrate which is patterned to form the boundary of the fluid transfer path. The membranes expands by heating a certain part of the heat generating layer formed beneath a fluid outlet port(310), and the fluid is transferred by using expansions of the membranes. 본 발명은 반도체 제조 공정기술을 이용하여 순간적인 외부온도 상승에 따른 밀폐된 유체의 압력상승으로 정지된 유체의 흐름을 한방향으로 유도하는 유체수송용 마이크로 펌프에 관한것이다. 이를 위해, 하부 기판, 전압의 인가에 따라 열을 발생시키고 이를 통해 유체의 압력을 제어하기 위해 하부 기판상에 소정 패턴으로 형성된 열발생층, 열발생층 상부에 형성된 캐비티, 캐비티 상부에 열발생층에서 발생된 열에 따라 팽창하도록 형성된 맴브레인, 맴브레인과 상부 기판을 경계로 포함하여 형성된 유체 수송로, 및 유체 수송로의 경계를 형성하기 위해 패터닝된 상부 기판을 포함하며, 유체 수송로의 유체 주입구에서 유체 방출구의 하부에 형성된 열발생층을 부분적으로 가열함에 따라서, 맴브레인을 팽창시키고, 이를 이용하여 유체를 수송하는 표면 마이크로머시닝에 의해 제조된마이크로 펌프를 제공한다.