DEVICE FOR SENSING CIRCULATION STATE OF CONSTANT TEMPERATURE WATER

• Main Author: RYU, HYEONG SIK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 25.06.2003
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

PURPOSE: An apparatus for detecting the circulation of water of a constant temperature is provided to extend the lifetime of a circulation pump and prevent the circulation pump from being broken by detecting when the constant temperature water is not circulated and by stopping the operation of the circulation pump. CONSTITUTION: Developer is supplied to a supply pipe(21). A water jacket(26) makes the developer passing through the supply pipe exchange heat with the constant temperature water supplied through the circulation pipe(28a,28b,28c) to maintain a constant temperature of the developer, connected to the circulation pipe through which the constant temperature water passes. The circulation pump(22) pumps to supply the constant temperature water from the water jacket through the supply pipe. A circulation sensor detects the circulation state of the constant temperature water, installed in the circulation pipe to which the constant temperature water is supplied. A controller(32) controls to stop the pumping operation of the circulation pump when the circulation sensor detects that the constant temperature water is not circulated. 본 발명은 반도체 제조설비에서 공정진행 시 온도를 일정하게 유지하도록 순환하는 항온수의 순환상태를 감지하는 항온수 순환감지장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 항온수 순환 감지장치는, 현상액이 공급되는 공급관과, 항온수가 흐르는 순환관을 연결하여 상기 공급관을 통과하는 현상액을 상기 순환관을 통해 공급되는 항온수에 의해 열교환 되도록 하여 상기 현상액의 일정한 온도 유지가 가능하도록 하는 워터재킷과, 상기 워터 재킷으로부터 순환관을 통해 항온수를 공급하도록 펌핑하는 순환펌프와, 상기 항온수가 워터재킷으로 공급되는 순환관에 설치되어 항온수의 순환상태를 감지하여 상기 순환펌프의 펌핑동작을 정지시키는 순환감지센서를 구비한다.