Prism coupler and method of measuring Optical parameter

• Main Author: PARK, BYEONG JAE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.03.2003
• Edition: 7
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

PURPOSE: An apparatus and a method for measuring optical parameter of a thin film are provided to continuously measure refraction rate, thickness, and loss without moving a sample. CONSTITUTION: A prism support part is installed to mount a prism(61) on a main frame(11). A plurality of light sources(20a-20e) emits beams. A rotating stage(50) is rotatively installed to the prism support part so that a rotation center line faces the prism. A plurality of optical path converting members(30a-30e) is installed on predetermined optical paths to convert the optical paths. The optical paths are linked to the rotating stage from the light sources to project the beams to the prism via the rotating stage. A sample mounting part(70) supports an examination object sample to one surface of the prism. A first photo detector receives the beams output through the prism. A signal processing system calculates optical parameter of the sample by using signals output from the first photo detector, controlling rotation of the rotating stage. 박막의 물리적 특성 측정 장치 및 방법이 개시된다. 박막의 물리적 특성 측정장치는 메인프레임상에 프리즘을 장착할 수 있도록 설치된 프리즘 지지부, 프리즘 지지부에 대하여 상대 회전가능하게 설치되되 회전 중심선이 프리즘 지지부에 장착된 프리즘을 향하도록 설치된 회전스테이지와, 광원으로부터 출사된 광이 회전 스테이지를 경유하여 프리즘으로 입사되도록 광원으로부터 회전스테이지로 이어지는 소정의 광경로상에 설치되어 광경로를 변환시키는 적어도 하나 이상의 광경로 변환부재와, 프리즘의 일면에 대하여 검사대상 시료를 지지할 수 있는 시료 장착부와, 프리즘을 거쳐 출력되는 광을 수신하는 제1광검출기 및 상기 회전 스테이지를 회전시키면서 제1광검출기로부터 출력되는 신호를 이용하여 시료의 물리적 특성을 산출하는 신호처리 시스템을 구비한다. 이러한 박막의 물리적 특성 측정 장치 및 방법에 의하면, 굴절률, 두께 및 손실을 시료의 이동없이 연속적으로 측정할 수 있고, 검사대상 시료도 단층막 이외의 2층막, 후막에 이르기까지 제약요건을 완화시킨다.