Electro-static chuck for preventing arc

• Main Authors: KO, BU JIN, HAN, SUN SEOK, KWON, GI CHEONG, BYUN, HONG SIK, LEE, SEUNG WON, KIM, JEONG SIK, KIM, HONG SEUP
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.03.2003
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

PURPOSE: An electrostatic chuck for preventing arc is provided to reduce a damage of a wafer and lengthen a lifetime of an electrostatic chuck by preventing generation of arc from the inside of a cooling gas induction hole and the inside of a lift pin hole. CONSTITUTION: An inner wall of a cooling water induction hole(15) and an inner wall of a lift pin hole(17) are covered with protective insulating bodies(16,18), respectively. The protective insulating bodies(16,18) are used for preventing generation of arc from the inner walls of the cooling water induction hole(15) and the lift pin hole(17). The protective insulating bodies(16,18) can be formed by using a coating method or inserting an insulating tube. In addition, the protective insulating bodies(16,18) can be formed by using an anodizing method when a metallic plate is formed with aluminum. 본 발명에 따른 정전척은, 전원을 인가받는 금속판과, 상기 금속판 상에 형성되어 그 위에 웨이퍼가 올려 놓여지는 유전층을 포함하며, 상기 금속판과 상기 유전층에는 이들을 동시에 수직관통하는 상승핀 홀과 냉각기체 도입공이 마련되어 있으며, 상기 상승핀 홀 내에는 상하운동 가능한 기판 상승핀이 설치되어 있고, 상기 상승핀 홀과 냉각기체 도입공의 내측벽은 보호절연체로 둘러져 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 정전척에 의하면, 정전척에 RF 전력을 인가할 경우에도 냉각수 도입공과 상승핀 홀 내부에서 아크가 발생하는 것을 방지할 수 있다.