METHOD AND APPARATUS FOR AUTOMATIC CALIBRATION OF ROBOTS

• Main Author: SUNDAR SATISH
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 04.02.2002
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; HAND TOOLS; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; MANIPULATORS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

PURPOSE: A method and apparatus for automatically calibrating robots is provided to achieve fast and accurate calibration while reducing dependence on the ability of human operators and provide reliable calibration and be adaptable for use with a variety of robots. CONSTITUTION: A method for calibrating a robot in a processing chamber comprises: determining a useable free-space for the robot in a processing system; determining a distance between a position of a robot end effector and a target position in the useable free-space; and generating a path within the useable space from the position of the robot end effector to the target position using incremental displacements of the robot end effector that minimize the distance between the robot end effector and the target position. An apparatus for calibrating a robot in a processing system comprises: a sensor disposed at a location to be taught; a receiver(204) disposed on a robot end effector; and a microprocessor(206) connected to receive signals from the sensor and the receiver to determine a distance between the sensor and the receiver, wherein the microprocessor generates a path using incremental movements that minimizes the distance between the sensor and the receiver. 본 발명은 로봇들, 특히 기판 프로세싱 시스템들에서 사용되는 로봇들을 위한 자동 교정 방법 및 장치에 관한 것이다. 프로세싱 시스템에서 로봇을 교정하기 위한 방법은: 프로세싱 시스템에서 로봇을 위해 사용 가능한 자유-공간을 결정하는 단계; 사용 가능한 자유-공간에서 타겟 위치와 로봇 종단 이펙터의 위치 사이의 거리를 결정하는 단계; 및 로봇 종단 이펙터와 타겟 위치 사이의 거리를 최소화하는 로봇 종단 이펙터의 증분 변위들을 사용하여 사용 가능한 공간 내에서 로봇 종단 이펙터의 위치로부터 타겟 위치까지 경로를 생성하는 단계를 포함한다. 프로세싱 시스템에서 로봇을 교정하기 위한 장치는: 지시될 위치에 배치된 센서; 로봇 종단 이펙터에 배치된 리시버; 및 센서와 리시버 사이의 거리를 결정하기 위해 센서 및 리시버로부터 신호들을 받기 위해 연결되고, 센서와 리시버 사이의 거리를 최소화하는 증분 이동들을 사용하여 경로를 생성하는 마이크로프로세서를 포함한다.