THERMOCOUPLE CHECKING APPARATUS OF REACTOR CHAMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS

• Main Author: BANG, HYUN-IL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.07.1999
• Edition: 6
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

본 고안은 반도체 제조용 반응챔버에 장착되는 온도 보정용 열전대의 이상 유무를 전문적인 계측기를 이용하지 않고도 짧은 시간에 손쉽게 확인할 수 있도록 하여 공정의 진행이 원활하게 이루어질 수 있도록 한 것이다. 이를 위해, 본 고안은 히팅 수단인 할로겐 램프(1)가 내장되는 튜브(2)와, 상기 튜브(2)내로 삽입되어 설치되는 석영관(3)과, 상기 할로겐 램프(1)에 의해 가열된 튜브(2)의 온도를 검출하는 적외선 온도계(4)와, 상기 석영관(3) 내부로 삽입되어 석영관(3) 내부의 온도를 검출하는 온도 보정용 열전대(5)와 , 상기 적외선 온도계(4) 및 온도 보정용 열전대(5)에 각각 연결되어 할로겐 램프(1)의 히팅 작용시 상기 적외선 온도계(4) 및 온도 보정용 열전대(5)로부터 검출된 온도값을 비교하여 온도 보정용 열전대(5)의 이상 유무를 판별하는 온도 제어기(6)로 구성된 반도체 제조 공정용 반응챔버의 온도 보정용 열전대 이상유무 검출 장치이다.