METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DISPLAY

본 발명의 유기EL 소자의 제조 방법은, 음극전극과 양극전극의 쇼트 방지용 절연층과 음극분리격벽을 아웃개싱(outgasing)을 하지 않은 물질을 사용하여 형성하므로서, 수명을 향상시키고 공정 단계를 줄일 수 있다. 본 발명에 의한 유기EL 소자의 제조 방법은, 유리 기판위에 스트라이프 형태로 투명양극전극을 형성하는 단계와, 상기 투명양극전극위에 제 1 무기절연체를 증착한 후 포토리소그래피 공정으로 상기 투명양극전극과 직교되는 방향으로 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층위에 제 2 무기절연체를 증착한 후, 상기 절연층 위에 형성...

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Main Authors KO, YEONG UK, JU, SEONG HU, KIM, U YEONG
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 12.12.2001
Edition7
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Summary:본 발명의 유기EL 소자의 제조 방법은, 음극전극과 양극전극의 쇼트 방지용 절연층과 음극분리격벽을 아웃개싱(outgasing)을 하지 않은 물질을 사용하여 형성하므로서, 수명을 향상시키고 공정 단계를 줄일 수 있다. 본 발명에 의한 유기EL 소자의 제조 방법은, 유리 기판위에 스트라이프 형태로 투명양극전극을 형성하는 단계와, 상기 투명양극전극위에 제 1 무기절연체를 증착한 후 포토리소그래피 공정으로 상기 투명양극전극과 직교되는 방향으로 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층위에 제 2 무기절연체를 증착한 후, 상기 절연층 위에 형성될 패턴의 하부 폭이 상기 절연층의 상부 폭보다 좁게 역 테이퍼 각을 갖도록 포토리소그래피 방법에 의하여 음극분리격벽을 형성하는 단계와, 상기 절연층과 절연층 사이의 투명양극전극위에 유기박막층과 음극전극을 순차적으로 증착하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
Bibliography:Application Number: KR20000029773