COOLING OF VOICE COIL MOTORS IN LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS

• Main Authors: BUIS EDWIN JOHAN, KWAN YIM BUN PATRICK, GILISSEN NOUD J, SCHAPENDONK PAULUS H. C. M
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 29.09.2001
• Edition: 7
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DYNAMO-ELECTRIC MACHINES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; GENERATION; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

PURPOSE: Provided are arrangements for cooling voice coil motors, particularly for the use in lithographic projection apparatus. CONSTITUTION: The lithographic projection apparatus comprises: a radiation system for providing a projection beam of radiation; patterning means, for patterning the projection beam according to a desired pattern; a substrate table for holding a substrate; a projection system for imaging the patterned beam onto a target portion of the substrate, wherein at least one of the patterning means and the substrate table is associated with positioning means comprising at least one voice coil motor having a coil in thermal contact with a cooling jacket; characterized in that the cooling jacket comprises at least one channel for circulation of a cooling fluid, each channel being arranged such as to be substantially located in a portion of the cooling jacket adjacent to the coil. 방사 투영 빔을 공급하기 위한 방사 시스템; 마스크를 고정하기 위한 제 1 대물 테이블; 기판을 고정하기 위한 제 2 대물 테이블; 기판의 타겟부위에 마스크의 조사된 부분을 결상하기 위한 투광 시스템으로 이루어지는 전사 투영 장치에 사용하기 위하여, 음성 코일 모터는 코일에 열 접촉하는 냉각 재킷에 의해 코일이 냉각되는, 제 1 대물 테이블 또는 제 2 대물 테이블중 하나에 관련되는 위치결정 수단에 사용되며, 냉각 재킷은 냉각 유체의 순환을 위한 한 개 이상의 채널을 포함하며, 각각의 채널은 코일 인근의 냉각 재킷의 일 부분에 실질적으로 위치되도록 배치된다. 냉각 재킷은 세라믹 재료로 형성될 수 있으며 바람직하게는 단일체 구조로 형성된다.