DOOR PARTS USED IN SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING DEVICE

반도체 기판 처리장치에 사용되는 도어부는 웨이퍼를 수용한 적재부가 놓여지는 제1 플랜지, 상기 제1 플랜지의 하부와 연결되는 제2 플랜지, 상기 제1 플랜지의 가장자리부에서 하측으로 연장되는 걸림돌기부, 상기 제2 플랜지의 하측에 배치되는 도어 및 상기 도어의 상면에 연결되어 상기 걸림돌기부의 적어도 일 부분의 형상에 대응되는 홈이 형성되어, 상기 걸림돌기부가 안착되는, 가이드를 포함하고, 상기 제1 플랜지와 상기 도어 사이의 거리에 따라 상기 걸림돌기부가 상기 가이드의 홈으로부터 안착 해제되고, 상기 도어는 안착 해제 시에 회전...

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Main Authors BAEK JONG HWAN, LEE JIN SEOK, HAM YOUNG JOON, KIM JEONG EUI, KWON YONG HWAN
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 30.09.2024
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:반도체 기판 처리장치에 사용되는 도어부는 웨이퍼를 수용한 적재부가 놓여지는 제1 플랜지, 상기 제1 플랜지의 하부와 연결되는 제2 플랜지, 상기 제1 플랜지의 가장자리부에서 하측으로 연장되는 걸림돌기부, 상기 제2 플랜지의 하측에 배치되는 도어 및 상기 도어의 상면에 연결되어 상기 걸림돌기부의 적어도 일 부분의 형상에 대응되는 홈이 형성되어, 상기 걸림돌기부가 안착되는, 가이드를 포함하고, 상기 제1 플랜지와 상기 도어 사이의 거리에 따라 상기 걸림돌기부가 상기 가이드의 홈으로부터 안착 해제되고, 상기 도어는 안착 해제 시에 회전 가능하다.
Bibliography:Application Number: KR20230180421