SUBSTRATE TREATING APPARATUS MOUNTED WITH HEATING PART

• Main Authors: TAEKYOUB LEE, EUNJUN JUNG, KYUNGHOON KIM
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 20.12.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

본 발명의 발열부가 장착된 기판 처리장치에 관한 것으로서, 상부에 기판을 지지하기 위한 척핀이 설치되는 링 형태의 스핀척과 상기 스핀척의 안쪽 하부에 형성되는 척 지지부를 포함하며 회전중심축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 척 베이스, 상기 척 베이스의 중앙에 형성된 중공부를 통해 설치되어 기판의 하면에 처리액을 분사하기 위한 백 노즐 어셈블리, 평면도에서 바라볼 때 상기 스핀척의 상면과 상기 백 노즐 어셈블리 사이에 배치되며 중앙에는 상기 백 노즐 어셈블리가 관통하는 관통공이 형성되는 커버 글래스 및, 상기 커버 글래스와 척 지지부 사이에서 상기 스핀척의 내주면 안쪽에 설치되는 발열부를 포함하여 구성되되, 평면도에서 바라볼 때 상기 커버 글래스에는 상기 관통공 둘레를 둘러싸는 소정 폭의 경사 굴절면이 형성되고, 정단면도에서 바라볼 때 상기 경사 굴절면은 상기 커버 글래스의 상면에 형성되며 상기 회전축중심을 기준으로 반경방향을 따라 상향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하므로, LED 등 상기 발열부로부터 커버 글래스로 입사되는 광이 상기 경사 굴절면에서 굴절되면서 중앙에 배치된 백 노즐 어셈블리에 의해 간섭되는 경우 없이 기판의 중심을 향해 조사되므로 기판 전체에 균일하게 복사열을 전달할 수 있다는 이점이 있다.