Micro cooling device and heater manufacturing method

온도 제어 소자의 제조 방법이 제공된다. 상기 온도 제어 소자의 제조 방법은, 금속 기판을 준비하는 단계, 상기 금속 기판의 상부면에 그루브(Groove)를 형성하는 단계, 상기 금속 기판의 상부면 상에, 표면 프로파일을 따라 금속 산화물을 포함하는 코팅층을 형성하는 단계, 상기 그루브 내의 상기 코팅층 상에 금속 씨드층을 형성하는 단계, 및 상기 금속 씨드층을 성장시켜 상기 그루브 내에 금속 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다....

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Main Authors SUH JONG HYUN, CHOI DONG KWON, ROH KYUNG HWAN
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 09.11.2023
Subjects
CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
PRINTED CIRCUITS
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Summary:온도 제어 소자의 제조 방법이 제공된다. 상기 온도 제어 소자의 제조 방법은, 금속 기판을 준비하는 단계, 상기 금속 기판의 상부면에 그루브(Groove)를 형성하는 단계, 상기 금속 기판의 상부면 상에, 표면 프로파일을 따라 금속 산화물을 포함하는 코팅층을 형성하는 단계, 상기 그루브 내의 상기 코팅층 상에 금속 씨드층을 형성하는 단계, 및 상기 금속 씨드층을 성장시켜 상기 그루브 내에 금속 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
Bibliography:Application Number: KR20220166104