Electrostatic chuck with improved durability

• Main Authors: KIM, SUN HUN, KANG JONG HYEOK, JANG JAE HYUK, LIM WAN GYU, HONG HYUN, SHIN YONG UK, SON SE HEON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 11.10.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; MACHINE TOOLS; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

The present invention relates to an electrostatic chuck with improved durability. The electrostatic chuck with improved durability comprises a base member and an electrostatic induction film to have excellent durability, thereby being resistant to breakage and preventing the generation of particles, to have excellent electrostatic power to pick up, in a suction manner, an object to be suctioned placed on the electrostatic chuck with improved durability, thereby having no need to apply a clamp formed in the form of tongs, to allow the electrostatic induction film to function as a cushion by itself, thereby having no need to apply a separate cushion layer, to allow the electrostatic induction film to be formed in the form of a film and be detachable from the base member, thereby improving the mass productivity of the electrostatic induction film, and to simply replace only the electrostatic induction film when the electrostatic induction film is damaged, thereby being easily repaired. 본 발명은 내구성이 향상된 정전척에 대한 것이다. 개시되는 상기 내구성이 향상된 정전척이 베이스 부재와, 정전기 유도 필름을 포함함에 따라, 내구성이 우수하여 파손에 강하면서 파티클 발생도 방지되고, 상기 내구성이 향상된 정전척의 정전력이 우수하여 상기 내구성이 향상된 정전척 상에 놓여진 피흡착체를 흡착식으로 집을 수 있게 됨으로써 집게 형태로 형성된 클램프의 적용이 필요없고, 상기 정전기 유도 필름이 그 자체로 쿠션의 기능을 하게 되어 별도의 쿠션층 적용이 필요하지 아니하고, 상기 정전기 유도 필름이 필름 형태로 형성되면서 상기 베이스 부재에 착탈 가능하게 형성됨에 따라 상기 정전기 유도 필름의 양산성이 우수해지고, 상기 정전기 유도 필름의 손상 시 상기 정전기 유도 필름만 간단하게 교체할 수 있어 상기 내구성이 향상된 정전척의 수리가 용이하게 이루어질 수 있게 되는 장점이 있다.