OLED Method for fabricating open metal mask for Organic Light Emitting Display

• Main Authors: YU HONG WOO, CHOI MYOUNG JAE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 29.03.2022
• Subjects: ELECTRICITY

The present invention provides a method for fabricating an open metal mask for an OLED. The method for fabricating the open metal mask for the OLED according to the present invention comprises the steps of: providing a metal sheet; attaching a first and a second photoresist film to the upper and the lower surface of the metal sheet, and forming a first and a second photoresist pattern in which the upper surface and the lower surface of the metal sheet of a region corresponding to a preset opening are partially exposed by performing an exposure and a development process; forming a first groove on the exposed upper surface of the metal sheet by performing a primary etching process using the first photoresist pattern as a mask; forming a first and a second opening guide groove by performing a laser process on the metal sheet on which the first groove is formed; forming an opening from which the metal sheet of a region corresponding to a preset opening by performing a secondary etching process on the metal sheet on which the first and the second opening guide groove are formed; and removing the first and the second photoresist pattern of the metal sheet in which the openings are formed. The present invention can prevent a size deviation and a position change defect of the opening during the etching process. 본 발명의 OLED용 오픈 메탈 마스크 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 OLED용 오픈 메탈 마스크 제조방법은, 금속시트를 제공하는 단계; 상기 금속시트의 상부면과 하부면에 제1 및 제2 포토레지스트 필름을 부착하고, 노광 및 현상 공정을 진행하여 미리 설정된 개구부와 대응되는 영역의 금속시트의 상부면과 하부면 일부가 노출된 제1 및 제2 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 1차 식각 공정을 진행하여 상기 노출된 금속시트의 상부면에 제1홈을 형성하는 단계; 상기 제1홈이 형성된 금속시트에 레이저 공정을 진행하여 제1 및 제2 개구 유도홈을 형성하는 단계; 상기 제1 및 제2 개구 유도홈이 형성된 금속시트에 2차 식각 공정을 진행하여 미리 설정된 개구부와 대응되는 영역의 금속시트가 제거된 개구부를 형성하는 단계; 및 상기 개구부가 형성된 금속시트의 제1 및 제2 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함한다.