optical wave guide based on silicon-lithium niobate photonics and ultra-compact optical phase modulator using the same

• Main Authors: LEE, SANG SIN, LEE WOO BIN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.06.2020
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Provided is an ultra-fine optical phase modulator based on silicon-lithium niobate photonics. The ultra-fine optical phase modulator comprises: a silicon substrate layer on which a second electrode is formed; an insulating silica layer formed on an upper part of the silicon substrate layer; a lithium niobate thin film layer formed on an upper part of the insulating silica layer; a high refractive index layer formed on an upper part of the lithium niobate thin film layer; and a first electrode formed on an upper part of the high refractive index layer. 실리콘-리튬나이오베이트 포토닉스 기반의 초미세 광 위상 변조기에 있어서, 상기 광 위상 변조기는, 제2 전극이 상부에 형성된 실리콘 기판층; 상기 실리콘 기판층 상부에 형성된 절연 실리카층; 상기 절연 실리카층 상부에 형성된 리튬나이오베이트 박막층; 상기 리튬나이오베이트 박막층 상부에 형성된 고 굴절률층; 및 상기 고 굴절률층 상부에 형성된 제1전극; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 초미세 광 위상 변조기.